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E-chuck半導體電子吸盤
| 型號名稱 | 最大輸出 | 特征 | |
|---|---|---|---|
| 電壓（KV） | 功率（W） | ||
聯系方式地址：陜西省西咸新區灃西新城西部云谷2期12號樓 電話：86-029-8844 4525 86-029-8868 8901 傳真：86-029-8868 8683 E-mail：Sales@wismanhv.com |
2KV |
6W |
特點和優勢 通過晶圓傳感器進行可靠性夾持/釋放狀態檢測 放大器架構設計的快速響應（“無繼電器極性反轉”設計的高可靠性和長壽命。） 各種卡盤/釋放操作的“雙通道獨立控制（選項）”和“中心抽頭電壓設置（選項）” 配備LAN、USB、RS-232C數字接口 內置低通射頻濾波器 (13.56 MHz) |
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聯系方式 地址：陜西省西咸新區灃西新城西部云谷2期12號樓 電話：86-029-8844 4525 86-029-8868 8901 傳真：86-029-8868 8683 E-mail：Sales@wismanhv.com |
2KV |
13W |
提高效率和晶圓吞吐量是普通電源的三倍。 減少背面氣體錯誤、提高吞吐量并消除晶圓粘滯/爆裂問題； 控制參數，例如過電流、存在晶圓和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓和內部或外部振幅/偏移控制； 調整過程中的幅度/偏移和輸出控制的多功能性； 使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控制來控制輸出； 配置自定義鉗位和去鉗位序列和波形。 可鎖定的前面板控制界面 支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術 將靜電卡盤配置文件上傳并存儲到設備，并通過用戶友好的軟件界面存儲在內部 晶圓檢測包括無晶圓、存在晶圓或晶圓夾緊狀態 |
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聯系方式 地址：陜西省西咸新區灃西新城西部云谷2期12號樓 電話：86-029-8844 4525 86-029-8868 8901 傳真：86-029-8868 8683 E-mail：Sales@wismanhv.com |
3KV |
19.5W |
提高效率和吞吐量：普通電源的三倍。 減少背面氣體錯誤、提高吞吐量并消除晶圓粘滯/爆裂問題； 控制參數，例如過電流、存在晶圓和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓和內部或外部振幅/偏移控制； 調整過程中的幅度/偏移和輸出控制的多功能性； 使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控制來控制輸出； 配置自定義鉗位和去鉗位序列和波形。 可鎖定的前面板控制界面 支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術 將靜電卡盤配置文件上傳并存儲到設備，并通過用戶友好的軟件界面存儲在內部 晶圓檢測包括無晶圓、存在晶圓或晶圓夾緊狀態 |
