X射線的種類與靶的選擇
在X射線源中，電子轟擊靶材料產生X射線的原理有兩種。
（1）當高速電子與靶原子發生碰撞時，會改變其原有的軌跡，并且慢下來。同時發出X射線，其能量等于高速電子碰撞前后的能量差。
由于每個高速電子與靶原子作用時的相對位置不同，所以各相互作用對應的輻射損失也不同，因而發出的X 射線光子的能量也互不相同。大量的X 射線光子組成了具有頻率連續的X 射線發射譜——就像各種顏色的單色光混合而成白光一樣——所以這種原理所產生X射線稱為白色X射線（也稱連續譜）。
（2）高速電子將靶原子的內層軌道電子撞出，使之離開原子成為自由電子，便會在內層軌道產生一個臨時的電子空位，外層的電子就會立即將這個內層軌道空位填充。軌道電子從外層向內層躍遷的同時會發出X射線，其能量就等于這兩個軌道能級之差。
由于靶原子的各軌道電子能級是確定的，所以產生的X射線能量也是固定的，并且僅取決于靶原子本身的特征；故通過這種原理產生的X射線也稱為標識X射線（也稱標識譜）。
任何一種靶材料都會同時產生白色X射線和標識X射線。在無損檢測應用中，樣品本身各種材質都有，所以一般會選擇產生白色X射線較多的鎢靶。而在用于分析物質成份的X射線熒光分析應用中，則更多會選擇比較容易產生標識X射線的鉬靶。
